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发布时间：2020-03-17 00:00:00
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业园黑龙江路581号5号栋
产品详情
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产品描述
产品名称：钽溅射靶材
执行标准：B708-98
圆靶材规格：直径（25-400）mm *厚度(3-28)mm
方靶材规格：厚度(1-12.7)mm*宽度(10-600)mm*长度(200-2000)mm
公差：直径公差+/- 0.254
牌号：RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度：≥99.9%
再结晶：最少95%
晶粒度：最小40μm
表面粗糙度：Ra 0.8 最大
平整度：0.1mm or 0.10% 最大.
成份：
|
牌号 |
主要成份 |
杂质含量 不大于% |
|||||||||||
|
Ta |
Nb |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
Ti |
Nb |
O |
C |
H |
N |
|
|
Ta1 |
剩余 |
—— |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
Ta2 |
剩余 |
—— |
0.03 |
0.02 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
0.1 |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
TaNb3 |
剩余 |
＜3.5 |
0.03 |
0.03 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
—— |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
TaNb20 |
剩余 |
17.0～23.0 |
0.03 |
0.03 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
—— |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
Ta2.5W |
剩余 |
|
0.005 |
0.005 |
0.002 |
3.0 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
Ta10W |
剩余 |
|
0.005 |
0.005 |
0.002 |
11 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
我司可提供质量优良的钽靶材。纯度为3N5到5N，晶粒度致密性好，使用性能稳定。
另我司有通过权威机构对靶材成分进行检测，均符合行业使用标准。对于靶材废料，我司也提供回收项目。
应用：钽靶主要应用于半导体和磁记录等薄膜溅射行业。
如有特殊要求，双方具体商定
关键词:
钽靶材
钽溅射靶材
溅射靶材
钽
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