定邊膜餵長晶法

        作者:Mark来源:来自网络 浏览次数: 日期:2012年7月26日 09:12

        摘要:

         

        定邊膜餵長晶法

        定邊膜餵法(Edge-defined Film-fed Growth, EFG)亦稱導模法。

        生長晶體的原理如圖所示。

        將原料置於銥坩堝中,由射頻感應加熱線圈加熱原料使之熔化,於坩堝中間放置一銥制模具,利用毛細作用讓熔湯攤平於銥制模具的上方表面,形成一薄膜,放下晶種使之碰觸到薄膜,於是薄膜在晶種的端面上結晶成與晶種相同結構的單晶。晶種再緩慢往上拉升,逐漸生長單晶。

        同時由坩堝中供應熔湯補充薄膜,由於此薄膜之邊緣受到銥模所限定,並扮演持續餵料以供晶體生長之用,所以稱為限定邊緣膜餵法,簡稱導膜法。

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        该资讯的关键词为:倒膜法,定边倒膜法,钼坩埚