主流蓝宝石长晶法优劣比较

        作者:Mark来源:来自网络 浏览次数: 日期:2012年7月11日 15:27

        摘要:

        简要介绍目前国际上主流的长晶法的优劣

         

        藍寶石單晶生長技術優缺點及應用比較

         

        藍寶石單晶主要生產技術優缺點及應用比較
        主要生產技術 優點 缺點 應用

        泡生法
        (Kyropoulos)

        高品質(光學等級),低缺陷密度,大尺寸,高產能,成本相對比較低 操作複雜,一致性不高,成品率較低,不易生長C軸晶體 全球用於LED襯底的藍寶石基板70%以上為泡生法或各種改良泡生法生長,美國Rublcon、俄羅斯Monocrystal、韓國Astek、台灣越峰
        柴氏法
        (Czochralski)
        生產情形易於觀察,尺寸容易控制晶體外形相對規整。 缺陷密度大;須使用依金坩堝,成本較高,尺寸易受限 加拿大HoneyWell(2008年被中國四聯集團收購)法國Saint-Gobain、日本藍寶石企業
        導模法>
        (EFG)
        品質佳 設備、工藝要求復雜 日本京瓷(Kyocera),並木(Namiki)
        温度梯度法
        (TGT)
        設備簡單,操作方便,無機械擾動、界面穩定、成品率高,可生長c軸晶體 晶體無轉動,溫場不易均勻;晶體需後續退火處理,週期長成本高,坩堝強製作用顯著 中國科學院上海光學精密機械研究所光電材料事業部深圳愛彼斯通
        坩堝下降法 設備簡單,成品率高 晶體缺陷密度較大 雲南藍晶已批量生產,但價格約為泡生法晶體的一半左右
        垂直水平溫度梯度冷卻法 晶體大小(直徑和高度)與形狀相對不受限制 專利掌握於韓國STC手中 韓國(STC)
        熱交換法
        (HEM)
        高品質,大尺寸 設備要求高,工藝複雜,成本高,主要難題是晶體容易開裂 美國Crystal System(2010年7月被美國GT Sdar收購)國內已開始涉足
        冷心放肩微量提拉法
        (SAPMAC)
        晶體完整性好,可實現原位退火,週期短,成本低 易受到溫度波動的影響;不易生長C軸晶體 哈爾濱大奧瑞德光電技術有限公司

         

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        该资讯的关键词为:蓝宝石长晶,热交换法,泡生法,优劣,提拉发,冷芯放肩微量提拉法