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定邊膜餵長晶法

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定邊膜餵長晶法

  • 分类:行业技术资料
  • 作者:Mark
  • 来源:来自网络
  • 发布时间:2012-07-26 12:00
  • 访问量:

【概要描述】

定邊膜餵長晶法

【概要描述】

  • 分类:行业技术资料
  • 作者:Mark
  • 来源:来自网络
  • 发布时间:2012-07-26 12:00
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定邊膜餵長晶法

定邊膜餵法(Edge-defined Film-fed Growth, EFG)亦稱導模法。

生長晶體的原理如圖所示。

將原料置於銥坩堝中,由射頻感應加熱線圈加熱原料使之熔化,於坩堝中間放置一銥制模具,利用毛細作用讓熔湯攤平於銥制模具的上方表面,形成一薄膜,放下晶種使之碰觸到薄膜,於是薄膜在晶種的端面上結晶成與晶種相同結構的單晶。晶種再緩慢往上拉升,逐漸生長單晶。

同時由坩堝中供應熔湯補充薄膜,由於此薄膜之邊緣受到銥模所限定,並扮演持續餵料以供晶體生長之用,所以稱為限定邊緣膜餵法,簡稱導膜法。

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