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发布时间：2020-03-17 00:00:00
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定邊膜餵長晶法 |
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定邊膜餵法（Edge-defined Film-fed Growth, EFG）亦稱導模法。
生長晶體的原理如圖所示。 將原料置於銥坩堝中，由射頻感應加熱線圈加熱原料使之熔化，於坩堝中間放置一銥制模具，利用毛細作用讓熔湯攤平於銥制模具的上方表面，形成一薄膜，放下晶種使之碰觸到薄膜，於是薄膜在晶種的端面上結晶成與晶種相同結構的單晶。晶種再緩慢往上拉升，逐漸生長單晶。 同時由坩堝中供應熔湯補充薄膜，由於此薄膜之邊緣受到銥模所限定，並扮演持續餵料以供晶體生長之用，所以稱為限定邊緣膜餵法，簡稱導膜法。 |
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