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主流蓝宝石长晶法优劣比较

发布时间：

2012-07-11

来源：

来自网络

 

藍寶石單晶生長技術優缺點及應用比較

 

藍寶石單晶主要生產技術優缺點及應用比較
主要生產技術 優點 缺點 應用

泡生法
(Kyropoulos)

 高品質（光學等級），低缺陷密度，大尺寸，高產能，成本相對比較低 操作複雜，一致性不高，成品率較低，不易生長C軸晶體 全球用於LED襯底的藍寶石基板70%以上為泡生法或各種改良泡生法生長，美國Rublcon、俄羅斯Monocrystal、韓國Astek、台灣越峰
柴氏法
(Czochralski)		 生產情形易於觀察，尺寸容易控制晶體外形相對規整。 缺陷密度大；須使用依金坩堝，成本較高，尺寸易受限 加拿大HoneyWell（2008年被中國四聯集團收購）法國Saint-Gobain、日本藍寶石企業
導模法>
(EFG)		 品質佳 設備、工藝要求復雜 日本京瓷（Kyocera），並木（Namiki）
温度梯度法
(TGT)		 設備簡單，操作方便，無機械擾動、界面穩定、成品率高，可生長c軸晶體 晶體無轉動，溫場不易均勻；晶體需後續退火處理，週期長成本高，坩堝強製作用顯著 中國科學院上海光學精密機械研究所光電材料事業部深圳愛彼斯通
坩堝下降法 設備簡單，成品率高 晶體缺陷密度較大 雲南藍晶已批量生產，但價格約為泡生法晶體的一半左右
垂直水平溫度梯度冷卻法 晶體大小（直徑和高度）與形狀相對不受限制 專利掌握於韓國STC手中 韓國（STC）
熱交換法
(HEM)		 高品質，大尺寸 設備要求高，工藝複雜，成本高，主要難題是晶體容易開裂 美國Crystal System(2010年7月被美國GT Sdar收購)國內已開始涉足
冷心放肩微量提拉法
(SAPMAC)		 晶體完整性好，可實現原位退火，週期短，成本低 易受到溫度波動的影響；不易生長C軸晶體 哈爾濱大奧瑞德光電技術有限公司

 

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藍寶石長晶技術發展歷程

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